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深圳市科晶智达科技有限公司
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VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪，其靶头尺寸为2英寸，并且样品台的高度可以调节
VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪，其靶头尺寸为2英寸，并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜。
| 性能指标和基本配置 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 特点 | ● 特别为SEM样品镀导电性薄膜设计 | |||||
| 主要参数 | ● 输入电源：220V AC 50/60Hz | |||||
| 溅射腔体 | ● 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H | |||||
| 溅射头&样品台 | ● 溅射头可安装靶材直径为2英寸，厚度0.1 - 2.5mm | |||||
| 真空系统 | ● 安装有KF25真空接口 | |||||
| 进气 | ● 设备上配1/4英寸进气口，方便连接气瓶 | |||||
| 靶材 | ● 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度) | |||||
| 各种靶材的参数（仅供参考） | 对于溅射各种金属靶材，需要摸索的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数，欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺（仅供参考，详情请点击） | |||||
| 靶材种类 | 真空度（Pa） | 溅射电流（mA） | 时间（s） | 溅射次数 | ||
| Au | 31-33 | 28-30 | 100 | 1 | ||
| Ag | 31 | 28 | 100 | 1 | ||
| 薄膜测厚仪（可选） | 可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上 | |||||
| 产品尺寸 | L460 mm × W 330 mm × H 540 mm | |||||
| 净重 | 20 kg（不包括泵） | |||||
| 使用注意事项 | ● 有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜 | |||||
| 警告 | ● 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体。 | |||||
| 认证 | | |||||
| 保修期 | 一年保修，终身技术支持。 特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 点击查看售后服务承诺书。 | |||||
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