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iMicro高精度微纳米压痕仪

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iMicro高精度微纳米压痕仪
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产品型号iMicro

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更新时间：2022-10-12 15:38:41浏览次数：147次

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上海纳腾仪器有限公司

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产品简介

iMicro高精度微纳米压痕仪

详细介绍

KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iMicro高精度微纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。1000mN载荷范围，6nN加载精度，0.04nm位移精度。

• 快速精准的动态纳米压痕测试

• 电磁加载方式

• 快速精准的位移测量

• 超高框架刚度

• 热漂移 <0.05nm/s



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商铺：https://www.gkzhan.com/st257895/


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