RF射频发生器- 标准配置，符合E级标准，稳定性高，溅射束斑极为平坦，等离子体稳定时间极短，表面信息无任何失真。
脉冲工作模式既可分析常见的涂、镀层和薄膜，也可以很好的分析热传导性能差和热易碎的涂、镀层和薄膜。
多道(同时)型光学系统可全谱覆盖，光谱范围：110nm至800nm，包含远紫外，可分析C, H, O, N, Cl。
HORIBA Jobin Yvon 的原版离子刻蚀全息光栅保证了仪器有光通量，因而有的光效率和灵敏度。
HDD® 检测器可进行快速而高灵敏的检测，动态范围达到10个量级。
宽大的样品室方便各类样品的加载。
功能强大的QUANTUMT XP软件可以多种格式灵活方便的输出检测报告。
激光指点器(CenterLite laser pointer，申请中)可用于精确加载样品。
HORIBA Jobin Yvon的单色仪(选配件)可极大的提高仪器的灵活性，可同时测定N+1个元素。
· GD-Profiler 2™ 射频辉光放电光谱仪样本
