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--30nm光学信号空间分辨率太赫兹(THz)光源波长较大,一般在300微米左右。由于衍射极限的存在,THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究,尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究(例如半导体芯片中各个组成:源极,漏极,栅极)的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。德国n......
--30nm光学信号空间分辨率太赫兹(THz)光源波长较大,一般在300微米左右。由于衍射极限的存在,THz远场测量系统的光学空间分辨率一般被限制在150微米左右。该THz光远场测量结果的准确度经常无法满足对材料科学研究,尤其是需要纳米分辨率的微细尺度材料分布研究(例如半导体芯片中各个组成:源极,漏极,栅极)的实验。THz-NeaSNOM近场光学显微镜的出现为此难题提供了一个很好的解决方案。德国neaspec公司与Fraunhofer IPM在neaspec公司neaSNOM近场光学显微镜的基础上,已经成功研发了一套易用使用且THz系统的空间分辨率达到30nm的实验设备。
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