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显微激光测振仪

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更新时间：2022-12-31 12:05:28浏览次数：391次

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简介MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米级别，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态

详细介绍

简介
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量，使激光光斑达到微米级别，提高测量的准确性，并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。

主要特点
●更高的空间分辨率
●对各种振动进行非接触测量
●多功能和精确的算法提供所有有用信息
●动态测量范围广 >90db
●设计紧凑、结构牢固
●使用红色激光，安全可见
●完整的解决方案：包含了光学、信号处理、软件以及数据采集
●便携，可固定于三角架

应用领域
●MEMS器件（微机电系统）的振动特性
●连续的频域振动特性
●MEMS的故障分析以及可靠性测试
●MEMS运动特性分析

参数

振动仪

点直径

大约10微米 *

频率响应范围

1Hz-100KHz,50KHz-1.5MHz *

测量速度范围

平面外

50mm/秒，500mm/秒，3m/秒

平面内

150mm/秒，1500mm/秒，9m/秒

低通滤波器

500Hz，2KHz，20KHz，100KHz，1.5MHz

*可以定制方案

显微镜
目镜	放大倍数	W.D.	光束直径
	5X	34mm	30um
	10X	34mm	20um
	20X/50X	20mm/13mm	10um/2um

样品展示
X-Y stage
尺寸	100 x100mm
移动范围	+/-10mm
分辨率	0.01mm

关键词：数据采集低通滤波器

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