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北京壮仕科技有限公司
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小型三靶等离子溅射仪VTC--16-3HD
| 视频 |
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| 主要参数 | 输入电源：220V 通用 功率：<>
工作电流： 溅射电流：0-50 mA可调
单次工作时间：0-5分钟可调
靶头数目：3个
输出电压：1600V DC
样品台加热温度：500℃（选配，详细请联系售后） | |||||||||||||||
| 溅射腔体 | 采用石英腔体，尺寸：166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
密封：O形密封圈密封 | |||||||||||||||
| 样品台 | 一个外径50 mm 的样品台,用于盛放基片，可以电动控制移动三个位置
溅射距离：溅射距离可调 可选购加热型样品台（温度可到500℃）
PID控制器控温精度+/- 1℃（已集成到触摸屏上） | |||||||||||||||
| 控制面板 | 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏
一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度,电流,靶材位置和基片加热温度 | |||||||||||||||
| 真空泵（选配） | 用机械泵真空度达 50 mtorr（仅供参考，详情请点击）
用分子泵真空度可达 10-4 torr（仅供参考，详情请点击） | |||||||||||||||
| 进气口 | 一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量 | |||||||||||||||
| 靶材 | 要求安装靶材的尺寸：直径Φ47mm,厚度0.5-3mm
可在本公司选购靶材,具体请点击链接 | |||||||||||||||
| 外形尺寸 | 460mm×330mm×540mm (L×W×H)
净重:50KG（不包括泵） | |||||||||||||||
| 质保期 | 一年保修，终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 | |||||||||||||||
| 质量认证 | | |||||||||||||||
| 各种靶材的参数（仅供参考） | 对于溅射各种金属靶材，需要摸索的溅射参数，下表是本公司实验所设置的参数（仅供参考，详情请点击）
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| 使用注意事项 | 由于能量低，该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al，Mg，Zn，Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
有时为了达到理想的薄膜厚度，可能需要多次溅射镀膜
为了得到较好的薄膜质量，必须通入高纯气体（建议> 5N）
在溅射镀膜前，确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
要达到薄膜与基底良好结合，请在溅射前清洁基材表面
超声波清洗（详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声（2）异丙醇超声-去除油脂（3）吹氮气干燥（4）真空烘箱除去水分。
等离子清洗（详细参数点击下面图片):可表面粗糙化，可激活表面化学键，可祛除额外的污染物
制造一个薄的缓冲层（5纳米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以应用于改善金属和合金的附着力
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| 警告 | 注意：产品内部安装有高压元件，禁止私自拆装，带电移动机体
气瓶上应安装减压阀（设备标配不包括），保证气体的输出压力限制在0.02兆帕
溅射头连接到高电压。为了安全，操作者必须在关闭设备前装样和更换靶 |
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