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3靶等离子溅射仪--VTC-16-3HD

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更新时间：2022-10-14 12:50:58浏览次数：194次

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上海添时科学仪器有限公司

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产品简介

VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.

详细介绍

技术参数

输入功率	110V / 220V 通用 < 2000W (含真空泵)
输出功率	1600VDC 大电流50mA
样品室	石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height
加热样品台	一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置基片可以放在样品台上. 加热温度 500°C PID控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°C 长溅射时间不可超过5分钟
控制面板	控制面板为PLC，4.3" 触摸屏一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置和基片加热温度
可选	KF25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管 120L/M旋片式真空泵（包含在仪器内）不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接各种高纯度金属靶需要一个带压力调节器的氩气瓶（这个我们不提供）
进气口	一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量
靶材	标配靶材分别有金，银，铜靶材: 尺寸: 金靶 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs 银靶 47 mm dia. x 0.5 mm, 1pcs 铜靶 47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs 可选靶材点击链接、 Pt , Ag target , Zinc tarhetD
外形尺寸	360mm × 350mm × 360mm (L×W×H) 净重:50KG
质保期	一年质保期，相关耗材除外，终身维护。
质量认证	Certified