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山东东南仪诚实验室设备有限公司
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■操作性功能●射频13.56Mhz0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性
型号 | PDC510 |
等离子模式 | RIE/DP |
电极构造 | 平行平板(固定) |
高频输出 | Max500W |
频率 | 13.56MHz |
控制•显示 | 液晶触摸屏 |
反应室尺寸 | W500 x D300 x H200mm |
电极尺寸 | W400 x D200mm |
反应室材质 | 铝 |
反应气体 | 2系统(Ar、O2) |
填充气体 | N2或干燥空气 |
反应气体流量控制 | 聚合控制器 |
真空泵 | 油泵(约500L/分)标配 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 |
外形尺寸 | W700 x D700 x H1285mm |
重量 | 约 180kg |
电源 | 三相AC200V8A |
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