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山东东南仪诚实验室设备有限公司
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用途●提高各种材料的粘接性、表面改质处理●清洗各类基板
模式 | RIE(DP模式选购) |
高频输功率 | 600W |
反应台尺寸 | W300×D300mm |
反应气体 | 2进气系统(氧气、氩气) |
反应气体流量控制 | 质量流量控制器 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个、空气1个 |
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