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山东东南仪诚实验室设备有限公司
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使用等离子的表面处理装置
等离子模式 | DP/RIE |
高频电源 | 13.56MHz |
输出功率 | Max1000 & 1500W |
有效电极尺寸 | W300×D300mm |
电极 | 2段电极(独立) |
反应气体 | 聚合控制器2系统(填充气路另行安装) |
真空泵(标配) | 约1500L/min |
安全装置 | 门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等 |
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