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深圳市华智腾光电科技有限公司
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H30-UVL是一款FUV远紫外单色仪，其一般采用出口狭缝分光模式或者CCD探测器平场摄谱模式下工作
H30-UVL是一款FUV远紫外单色仪，其一般采用出口狭缝分光模式或者CCD探测器平场摄谱模式下工作。其采用非常紧凑和的光学设计，基于的单一全息像差校正环形光栅，可以获得了非常好的图像质量和优越的光通量。
H30-UVL 是基于EUV到UV波段范围特别设计的一款工作在真空环境之中单色仪，其可以匹配狭缝-狭缝或者狭缝-CCD进行工作。
H30-UVL是采用全息变间距VLS技术的单个环形像差校正光栅的单色仪。 其在光学设计方面采用优化它的光轴以及大的出口平面上的所有方向(25x10毫米校正平面)，使其实现理想的一英寸阵列，从而很好地优化了杂散光。同时，采用单一光栅布局具可以将仪器中的光学数量减少到最小，增加其在EUV和FUV区域的光通量。
技术参数
| 光学结构 | Toroidal Grating Type IV VLS single optic |
| 焦距长度 | 300 mm |
| 数字孔径 | f/6 |
| 光栅密度 | 1200 gr/mm : 50-300 nm |
| 光学镀膜 | MgF2 optimized at 121 nm standard or Pt option |
| 光学入射角 | 70° |
| 线色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
| 驱动方式 | Fast worm drive |
| 最小步距 | better than 0.2 nm |
| 真空度 | 5 10-6 mbar (HV version) 5 10-8 mbar (UHV version) |
| 泵法兰接口 | DN63 CF |
| 入口狭缝 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) |
| 出口狭缝 | Micrometric slits (10 µm to 2 mm) or Adjustable CCD port |
| 入口法兰 | DN40 KF (DN40 CF) |
| 出口法兰 | DN40 KF for slit version (DN40 CF) DN100CF for CCD version |
| 通讯方式 | Built-in USB2, no additional controller |
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