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深圳市科锐诗汀科技有限公司
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INFICONAllceramicTMCDG025-CSKY电容膜片真空计SKYAllCeramicCDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成，替代常规CDG的不锈钢材料，本产品适用于必须避免金属污染的应用中
INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY电容膜片真空计
SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成，替代常规CDG的不锈钢材料，本产品适用于必须避免金属污染的应用中。
优势：
1、无金属污染。
2、临界的零点漂移。
3、事实上的耐腐蚀性-长传感器的寿命的结果是减少停机时间。
4、从而阶段拥有的成本。
5、在整个长的运行周期中优等的精度和重复性。
6、更好的长期稳定性和温度稳定性。
7、对频繁暴露于大气不敏感。可免除隔离阀（取决于工作模式）
8、由于保护性屏蔽（Suprashield）,对微粒和过程副产物不敏感。
用途：
1、刻蚀、CVD和PVD工艺过程。
2、采用注入或按扩散工艺的硅掺杂过程。
3、氧化过程。
4、产生膜厚为100A范围的栅氧化层。
5、产生阻挡（Ti,TiN,Ta和TaN作为硅与铝或铜之间的保护膜层）
产品特点：SKY AllCeramic CDG全部显露于真空的表面由超纯氧化铝陶瓷构成，替代常规CDG的不锈钢材料，本产品适用于必须避免金属污染的应用中。
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