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昆山普乐斯电子科技有限公司
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品牌:普乐斯名称:真空等离子清洗设备 半导体等离子表面处理机型号:PM/R-80LN用途:适合于材料表面清洁、活化
型号 | PM-80LN | PR-80LN | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) | |
PLC(标配)/PC(可选) | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 7寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W850×D1100×H1700mm | |
腔体 | 尺寸 | W450×D400×H450mm | |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | ||
电极 | 尺寸 | W440×D317mm | |
层数 | 1-8层,可选 | ||
托架 | 材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | |
层数 | 1层 | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 2个;Ar、N2、O2(可选) | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz,0~1000W | 13.56MHz,0~500W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 4KW | |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V | |
选购品 | 干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 |
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