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英福康Transpector XPR3 气体分析系统,高压强型四极质谱仪

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产品型号Transpector XPR3

品牌

厂商性质其他

所在地杭州市

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更新时间：2022-11-18 11:09:13浏览次数：416次

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杭州太昊科技有限公司

经营模式：其他

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产品简介

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

详细介绍

Transpector XPR3 气体分析系统

无需复杂压力转换的 PVD 过程监控

Transpector XPR3 提供的 RGA 过程监控功能可以为您提供有关污染级别、除气级别、气体纯度和设备操作等方面的实时数据。用户可以根据此信息检测和诊断问题，从而*大化吞吐量和产量，也可以根据此信息制定更有效的预防性维护计划，从而延长工具运行时间。

Transpector XPR3 是新一代气体分析系统，可用于基于四极杆的高压过程气体分析。它借鉴了之前 INFICON 系统的成功经验，具有****的灵敏度、准确性和灵活性，可以监控气相沉积 (PVD) 过程。Transpector XPR3 取得了一系列技术上的突破，无需大型、复杂的压力转换设备，即可在 20 mTorr 至超高真空范围内操作。