1.技术特征——非常适合工厂(效率高，操作傻瓜型，自动化程度高)和高校教学科研 (可靠性好，演示方便)
采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除 曝光间隙，采用 350W 进口(德国)直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程 度很高，操作十分方便。
2．技术参数
l 曝光面积：4英寸
l 曝光波长：365nm
l 分辨力：0.8um
l 对准精度：±0. 8um
l 掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 样片尺寸：直径f10mm-- f100mm(各种不规则片)
厚度0.1mm--5mm(可扩展为15mm)
l 曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
l 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
l 照明不均匀性： 3%（f100mm 范围）
l 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数400倍，光学+电子放大800倍
物镜三对：4倍、10倍、20倍
目镜三对：10倍、16倍、20倍
l 调平接触压力通过传感器保证重复
l 数字设定对准间隙和曝光间隙
l 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
l 掩模相对于样片运动行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6º
l 焦厚：400mm（SU8胶，用户提供检测条件）
l 光源平行性：3.5 º
l 曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面温度<35 º
l 单层曝光一键完成
l 采用球气浮自动找平
l 汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）
3．外形尺寸：1200mm（长）´900mm(宽) ´1750mm（高）
4．配置
（1）曝光头
l 冷光椭球镜
l 350W进口直流高压汞灯(进口)
l XYZ汞灯调节台
l 冷却风扇
l 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜1、准直镜镜2、蝇眼透镜组（79个透镜）、i线滤光片、场镜1、冷光反射镜1、反射镜2
（2）对准工件台
l 掩模样片整体运动台
l 掩模样片相对运动台
l 转动台
l 样片调平机构,自动完成
l 基片抽拉式上下机构
l 样片调焦机构，电机自动调
l 承片台4个：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用户要求增减）
l 掩模夹4个：3英寸、4英寸、5英寸（可按用户要求增减）
（3）对准显微镜
l 光源（配备品2只）、 电源
l 双目双视场对准显微镜主体
l 目镜3对（10倍、16倍、20倍，共6个）
l 物镜3对（4倍、10倍、20倍，共6个）
l CCD对准系统，21寸液晶显示器
（4）电控系统
l 汞灯触发电源(350W直流汞灯)
l 单片机控制系统
l 控制柜桌
（5）气动系统
l 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
l 电磁阀驱动
l 气动仪表
（6）其他附件
l 真空泵一台
l 空压机一台
l 管道
（7）技术资料
l 使用维修说明书
l 显微镜使用说明书
