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gFFOZ臭氧传感器

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更新时间：2023-02-26 17:28:22浏览次数：259次

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上海卯林机电设备有限公司

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产品简介

IN USA 品牌的Gffoz 是一台结构紧凑，设计用来测量过程臭氧气体的传感器，它可以持续测量浓度高达900g/Nm3的臭氧气体。Gffoz是一台洁净的传感器，可以用于半导体制程，并且可以在线安...

详细介绍

IN USA 品牌的Gffoz是一台结构紧凑，设计用来测量过程臭氧气体的传感器，它可以持续测量浓度高达900g/Nm3的臭氧气体。Gffoz是一台“洁净”的传感器，可以用于半导体制程，并且可以在线安装，允许流量高达15slpm。
Gffoz采用IN USA公司的创新型的双光路测量技术(获得),从而具有的性能。
Gffoz典型安装包含了一台控制器(Mini-SCI或SCI-Turbo)，通过信号线进行连接。控制器提供了电源，基于微机的控制，LCD显示等。特点包含：0-10VDC和4-20Ma模拟输出，RS232数字通讯，远程自动零点和自动温度压力补偿。

产品特点：
◆ 紫外吸收技术
◆ 双光速测量原理
◆ 无活动配件—最小维护
◆ 压力和温度补偿
◆ 在线监测
◆ 全流量
◆ 半导体级别焊接
◆ 控制器最多可以接四个传感器

技术指标:
传感器：

◆ 制造商: IN USA INC
◆ 测量原理：紫外吸收技术,双光路传感器
◆ 压力&温度：自动补偿
◆ 紫外线光源：低压汞灯
◆ 测量单位：g/m3,g/Nm3,%w/w
◆ 量程： 0-26%w/w(0-900g/m3)@35psi或2.4atm
◆ 重复性：1g/m3或读数1%,取大者
◆ 样品流量：0.2-15SLPM
◆ 样品压力：10-80psi
◆ 压损：5mBar@10slpm
◆ 焊接材料：316L VAR电抛光不锈钢，蓝宝石，符合半导体制程要求
◆ 接口: 1/4 inch VCR(其他也可选择)
◆ 尺寸：130x146x54mm