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NE-PE05F等离子表面处理仪

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更新时间：2023-03-17 22:08:41浏览次数：227次

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产品简介

产品简介：NE-PE05F等离子表面处理仪，该仪器采用电容式耦合辉光放电产生的等离子体对材料表面进···

详细介绍

NE-PE05F等离子表面处理仪，该仪器采用电容式耦合辉光放电产生的等离子体对材料表面进行改性,可供等离子体表面改性和等离子体聚合之用,它由真空反应室、真空系统及真空测量设备、充气系统及气体流量测量设备、放电系统和射频电源和设备电路控制系统五部分组成。

产品参数：

型号	NE-PE05F等离子表面处理仪
功率	0-200W可调
频率	射频13.56MHz
腔体材质	进口 316 不锈钢
腔体容积	5L
腔体尺寸	Φ150×280（D）mm（圆形）
有效处理范围	130（W）*245(D)mm
气路数量	2路工艺气体通道
真空度	＜30Pa
外形尺寸	560mm(L)×550mm(W) ×530 mm(H)

产品特点：

气体系统动态循设计、均匀进气提高处理的效果

13.56MHz射频等离子发生器，离子能量和浓度适中

两路独立的气路控制便于探索不同气体配比对处理效果的影响

密封件采用真空密封紧固件，确保真空腔体气密性高

控制系统包括自动流程控制、安全连锁保护等功能

低温等离子体表面处理技术在材料加工中使用越来越广泛。它具有传统的化学加工所不具备的优点，无需使用水和化学品，污染少，废水处理成本低，是一种环境友好的加工方式。低温等离子体是部分离子化的气体，其电子温度比离子温度高，放电时所产生的高能量电子和低能量分子活性种能引发反应而且不会使材料由于温度过高而破坏。通过等离子体处理可以引入大量的活性官能团使材料的性能发生变化，如：提高润湿性、染色性、具备拒水或拒油性、改变物理或电性能、清洁材料表面等等。尤为重要的是低温等离子体可以对材料进行大批量的加工。

关键词：控制系统等离子发生器

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