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真空碳管炉稀土提纯炉超高温真空炉石墨化炉光学材料烧结炉

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更新时间：2023-04-20 10:49:46浏览次数：246次

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东莞燕园半导体科技有限公司

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产品简介

简单介绍本款真空碳管炉是用高纯石墨作发热元件的立式真空电阻炉，供金属化合物、陶瓷、无机化合物、纳米材料等在真空或保护气氛中烧结制品。

详细介绍

技术参数

1．1额定功率： 50KW

2．2额定电压：三相,380V

2．3加热器电压： 0-30V（单相）

2．4额定温度： 2300℃

2．5工作区尺寸： Φ90×120(mm)

2．6冷态极限真空度： 6.67x10-3Pa

2．7冷却水水压： 0.2~0.4Mpa

2．8冷却水要求：水质按GB10067.1-88国标，总硬度CaO<10

2．9使用要求：海拔1000M以下、环境温度0-45度、湿度15%-85%

2．10保护气氛：1800-2200度高纯氩或高纯氮，2200度以上露点—60度的高纯氩

结构简介

3．1炉体为立式炉壳，其内层为1Cr18Ni9做成的圆筒，外壳为碳钢经防锈处理。两层之间形成夹套可以通水冷却，将传到炉壳内壁上的热量带走。内外筒与上下法兰焊成一个整体，中间开有抽气孔、观察孔、热电偶孔等。

3．2炉体上部是炉盖，它是有内外封头和法兰焊成，中间可通水冷却炉盖，装有锁紧装置，松开锁紧，炉盖自动向后打开，手动推到*大后即可装卸工件。

3．3炉底部分也是有内外封头和法兰组成，中间通水冷却，固定在炉体下部，有电极引入，电极通水冷却。

3．4炉内隔热屏由石墨碳毡组成，*内层为石墨发热体，底部隔热屏由石墨组成。

3．5真空系统

它是由2X-30双级机械泵及真空阀等组成，真空阀门为手动大蝶阀及手动蝶阀，真空度测量由数显复合真空计执行。有关真空计的使用请参照真空计使用说明书，注意使用一段时间后，热偶规管会老化，其工作电流需重新标定，标定方法主要为高真空校低真空法。即当电离真空度小于3×10-2Pa时，低真空规管（热偶管）的指针应指向0.1Pa以上，否则应调整其工作电流了。

3．6电气系统

调压控制柜上可控硅调压装置由旋动手动调节，也可自动控制，380V三相电源经过降压变压器，电压降到30V，然后经过电缆再送到电极上。

3．7水冷系统

冷却水由总管进入，经过各支管送到炉壳、炉盖、炉底、电极、扩散泵和机械泵等需要冷却的地方，然后汇总到水箱排出。每路冷却水都有手动阀门，可以按照需要调节流量大小。进水管上设有电接点压力表，当水压低于0.1Mp时，可自动切断加热器。

关键词：热电偶真空阀门手动蝶阀控制柜可控硅

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