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设备名称:全自动晶圆电镀设备设备系列:SP系列设备分类:生产型(P),研发型(R)工艺类别:晶圆电镀晶圆尺寸:4-12inch工艺类型:Au,Cu,Ni,Sn,Ag,Pd,Au/Sn alloy …工艺应用:RDL,PillarBumpTSV工艺操作:自动晶圆类型:Si,GaAs,GaN,InP,SiC,Ceramic,Glass …晶圆尺寸:2-12inch
设备名称:全自动晶圆电镀设备设备系列:SP系列设备分类:生产型(P),研发型(R)工艺类别:晶圆电镀晶圆尺寸:4-12inch工艺类型:Au,Cu,Ni,Sn,Ag,Pd,Au/Sn alloy …工艺应用:RDL,PillarBumpTSV工艺操作:自动晶圆类型:Si,GaAs,GaN,InP,SiC,Ceramic,Glass …晶圆尺寸:2-12inch
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