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自动晶圆磨边倒角机

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更新时间:2023-05-21 13:21:56浏览次数:416次

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产品简介

全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备,利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工

详细介绍

全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备,利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆、8″-12″晶圆

  • 适用于晶圆倒角、晶圆磨边及层阶倒角加工

  • 机械臂自动上下料,全自动生产

  • 可加工参考边型晶圆及Notch型晶圆

  • 自动进行粗研及精研加工

  • 可自动检测晶圆直径

  • 配备晶圆清洗功能

  • 配备晶圆干燥功能

    可选配SECS/GEM与MES系统联接

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