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北京科翰龙半导体装备科技有限公司
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全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工
全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆、8″-12″晶圆
适用于晶圆倒角、晶圆磨边及层阶倒角加工
机械臂自动上下料，全自动生产
可加工参考边型晶圆及Notch型晶圆
自动进行粗研及精研加工
可自动检测晶圆直径
配备晶圆清洗功能
配备晶圆干燥功能
可选配SECS/GEM与MES系统联接
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