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苏州上器试验设备有限公司
不用接触就可以简单准确地测量原生或成型硅块的真实寿命。与半导体工业标准PV(光伏)-13相符合。
操作简单、灵敏度高
BLS-I and BCT-400测量系统对于单晶硅或多晶硅(硅锭或硅块)不需要进行表面钝化就可以进行寿命测量。因为寿命测量是描述生长特征和污染缺陷灵敏度的技术,这些工具允许你评估硅生长后的质量。
性能优越
非接触方式量测真正意义上的硅块少子寿命,符合SEMI的PV13标准;相比业界其他少子寿命测试仪BLS-I/BCT系列是性能更优越的少子寿命测试仪。
多型号选择
如果想要设备能够测量多种的表面类型(150mm直径到平滑的)请选BLS-1.如果是仅需要测量平滑表面,请选择BCT-400.
BCT400/BLS-1应用
厂商品质监控常见的测量设备,拥有广泛客户群
•测量寿命在1-5ms(豪秒)范围内的高纯度硅
•测量没有进行特殊表面处理的原生直拉硅
•测量多晶硅块的寿命和俘获浓度
•探测氧化硼缺陷,铁污染,和表面损害
•测试直拉硅,区熔硅,多晶硅或高纯冶金硅的初始原料质量
项目 | 内容 |
---|---|
测量参数 | 少子寿命、电阻率、陷阱密度 |
可测量的少子寿命范围 | 0.1us-10ms |
可测量的电阻率范围 | 0.5-300ohm.cm |
分析模式 | 准稳态方法少子寿命分析 瞬态方法少子寿命分析 一般方法少子寿命分析 |
可施加的用于修正陷阱的偏执光范围 | 0-50suns |
可以测量的样品的表面类型 | 表面为平的硅块样品(BCT-400) 表面不平整的硅块样品(BLS-I) 不平整弧度的直径可达150mm |
光源光谱 | 白光和红外光 |
感应器的面积 | 45cm*45cm |
可测量深度 | 3mm |
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