AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0±0.01VDC
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
流量范围（span） | +200sccm | +30sccm |
| +1000sccm | ||
压力范围（psi） |
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（参照附录） |
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| ±2.0”水柱 |
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输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
零点电压 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
零点漂移 |
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+25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
+25~+85?C |
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输出电压漂移 |
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Max |
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+25~-25?C | -4% 读数 | ±5.0% 读数 | +24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
+25~+85?C | +4% 读数 | ±5.0% 读数 | -24.0% 读数 | +5% 读数 | ||
重复性& 迟滞Max | ±0.5% 读数 | ± 1% 读数 | ±0.5% 读数 | ±1% 读数 | ||
| Min Typ. | Max. |
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电源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） |
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功耗（mW） | 50 | 60 |
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反应时间（ms） | 1.0 | 3.0 （1） |
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共模压力（psi） <, /TD> |
| 25 |
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工作温度 | -25~85?C |
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储存温度（?C） | -40~90?C |
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冲击（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） |
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注：1、信号处理zui初预热所须时间zui多1 分钟
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
4、为防止损坏，zui大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列气体质量流量传感器*型号:
*型号 | 量程 |
AWM3100V | +200SCCM |
AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
AWM3200V | ±2 英寸水 |
AWM3300V | +1000SCCM |
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