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江苏士磐半导体设备有限公司
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外观材质：PP板组合焊接而成，耐酸碱侵蚀
| 外观材质： | PP 板组合焊接而成，耐酸碱侵蚀。 |
|---|---|
| 操作盆罩： | SUS制，圆盆型设计。 |
| 适用尺寸： | 2"-12" |
| 盆罩掀盖： | 分离式透明 PVC 上盖。 |
| 吸盘规格： | 一组铝制吸盘精密研模阳极保护。 |
| 操作方式： | 手动直接输入。 |
| 入料方式： | 手动放片、自动供药 |
| 液体种类： | 显影剂、溶剂。 |
| 马达： | AC Servo Motor(转速:10~6000 RPM)。 含真空帮浦 (附 PP 防尘外罩)。 |
| 真空渗液保护： | 有，间接式防护设计。 |
| 真空简检知： | 有(可数字设计真空值 kpa 下限保护)。 |
| 保护装置： | 有。 |
| 保护制御： | 有一本装置的全部状态，异常检出 |
适用于研发单位与小量生产，以成本产生效益。
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