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全自动涂胶显影机

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更新时间：2023-06-17 13:46:21浏览次数：238次

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芯米（厦门）半导体设备有限公司

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产品简介

全自动涂胶显影机 XMTA-800A

详细介绍

  • 基片尺寸
    ψ50mm～ψ200mm
  • Cassette 晶舟
    2-4个晶舟
  • Coater Unit 涂胶单元
    1、PR类型：正胶/ 负胶 ；2、光刻胶喷头 2 ~ 4 个； 3、EBR ( Edge Bead Remover )； 4、马达旋转速度 Max. 6,000rpm； 5、高精度定量泵浦≦0.1cc ( 100cp以下)
  • Robot Arm 机械手臂
    3轴; X1, X2, X3
  • Hot Plate热盘单元
    溫度50℃-180℃
  • Cooling Plate冷盘单元
    溫度18-28℃
  • 机台尺寸
    D(1200+2410)× W1700 × H2300 (mm)
  • 显影机基片尺寸
    ψ50mm～ψ300mm
  • Developer 显影单元
    1、可应用喷头 Spray, Stream, E2 , H ；2、马达旋转速度 Max. 5,000rpm

    • 关键词：机械手 显影机
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