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KS-FT200/300 前道8/12寸涂胶显影机

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更新时间：2023-06-19 10:56:21浏览次数：189次

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沈阳芯源微电子设备股份有限公司

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产品简介

KS-FT200/300系列堆叠式高产能前道涂胶显影机，为我司自主研发的突破晶圆前道28nm工艺节点及以上工艺制程，适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证，占地面积小、可靠性高、易于维护，满足各种功能芯片制程需求。

详细介绍

产品优势：

1. 堆叠式高产能架构，占地面积小
2. 可与光刻机联机，满足工厂自动化需求
3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统，有效节省光刻胶的用量
4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件，满足更高标准工艺需求
5. 核心单元模块化设计，组合方式灵活多变，限度客制化

应用领域：

● 逻辑电路
● CMOS射频电路
● 功率器件
● MEMS系统级芯片
● 闪存内存
● CIS
● 驱动芯片
● OLED等

关键词：功率器件

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