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厦门星立方科技有限公司
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MEMS 和微系统的3D 振动测量实物振动通常是三维振动。诚然，您可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级
实物振动通常是三维振动。诚然，您可选择优先显示某特定方向的振动，但由于存在产品公差和其它影响，其它空间方向也会产生运动分量。 MSA-100-3D 显微系统分析可在大带宽范围内实时测量样本的动态特性，高分辨率同时记录和分析XYZ三个方向的振动分量，每向的振幅分辨率均达到亚皮米级
因激光光斑极小，所以横向分辨率，且带宽高达 25 MHz，Polytec的MSA-100-3D 是用于微机电传感器和致动器 (MEMS) 以及其他微结构的振动测量的理想设备。通过软件移动样品，MSA-100-3D 完成样品整个表面的振动分析，然后以图形方式显示振型。
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