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蔡司光学显微镜

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更新时间：2023-08-04 08:23:28浏览次数：187次

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上海六顿机电设备有限公司

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产品简介

分析从极小的MEMS传感器到超大XXL晶圆，或甚至整块平板显微器，其间不会对样品造成破坏

详细介绍

分析从极小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆，或甚至整块平板显微器，其间不会对样品造成破坏。借助 300 mm 的横向移动距离和 254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证，并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至更佳聚焦位置。