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RTP红外测温仪

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武汉迪凯光电科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：79条

所在地区：湖北

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产品简介

主要应用：半导体生产过程中的温度测量如：RTA、RTP、CVD等工艺。

详细介绍

RTP红外测温仪特点

两种光学采集系统可供选择：光导型、透镜型

光导型的优点：直径小，仅通过很小的通光孔径，能够从大视场角度收集辐射能量，采集到极限低温信号。

透镜型：适合远距离测量小目标或透过观察窗测量目标温度。

短波长实现低温目标温度测量

严谨科学的设计、可实现10 ^-13A的信号的放大；实现短波长测量低温目标的能力；短波长显著降低发射率造成的测量误差，是许多应用的理想选择，如半导体工业中硅片的温度测量。

温度分辨可达0.01℃

严谨的电路设计使得电噪声更小，可实现低温目标的准确测量。高温度分辨力使得温度控制过程更加平稳。

测量速度高达1Khz(1ms)

该系列测温仪可以提供每分钟一个读数直至每秒1000个读数，客户可按需选择。此外，测温仪执行所有内部的A/D转换，每台仪器提供一个数字信号输出。

宽范围的温度测量能力

高精的电子元器件及光路设计使得测温仪测温范围更宽，可以实现从室温（25℃）到4000℃ 的高温测量。

低漂移

的元器件选择和设计有效减少电子器件中的漂移，测温仪实现温漂不高于 0.1 ºC / 年。

精巧易安装，不再依赖光纤

小尺寸、高性能使得测温仪能够在离热源足够近的地方测温，且不再需要长柔性光纤元件。在需要光纤的应用中，迪凯的产品仍然具有显著优势，可提供全系列柔性石英光纤，以满足不同使用现场需求。

基本参数

测量温度范围 100-1300℃

测量精度：±1.5℃/0.15%读数

重复精度：±0.10℃

分辨率： 0.01℃
响应时间：1ms
通光孔径: 2mm（其它可选）

电气参数

数字输出：RS422

模拟输出：无

操作参数及执行标准

防护等级：IP65

工作温度：10-60℃

存储温度：-20-70℃

相对湿度：10-95%,无结露

抗扰标准：JB/T9233.11-1999

抗冲击： GB/T2423.1,GB/T2423.2

关键词：红外测温仪电子器件

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