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晟弘节能科技(上海)有限公司
iPM半导体中度严苛系列
产品型号及名称 | 真空泵 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Vacuum pump | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
用途 | Load Lock/Transfer/Metrology /PVD/Etch/Ashing /Litho/Implant | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
特点 | 绿色制造、全新系列干式真空泵 体积小、耗功低、大幅度降低成本 用于中度严苛制程的节能泵 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技术指标 |
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