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用途： Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点： IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和*的转子型线设计。 汉钟型线设计，上海，中国台湾，制造。 较之前的版本节能25%，配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺......
用途： Etch, Implant, HDP-CVD, SACVD, MOCVD, PECVD, LPCVD, ALD 特点： IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，适用于严苛制程。 它优良的性能源自于转子排气路径和*的转子型线设计。 汉钟型线设计，上海，中国台湾，制造。 较之前的版本节能25%，配置有省电模式。 带有加热系统避免制程物沉积。 优化的尺寸，即插即用。
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