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广州中源仪器技术有限公司
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产品型号：WinSPM L• 传统的原子力显微镜• 采用激光检测型探针• 多功能模式、研究级• 经典传承、品质
产品简介：
采用传统激光检测探针的原子力显微镜（AFM），经典传承、品质。集成了多模式和多功能的、国际和研究级的扫描探针显微镜产品。
仪器特点
采用激光探测探针，支持接触模式和轻敲模式的形貌成像。
具备力-距离曲线、振幅-距离曲线、相移-距离曲线等测量分析功能。
采用高精度嵌入式测控系统，主机隔音抗震设计，抗干扰能力强。
可扩展纳米加工、扫描隧道显微镜、静电力显微镜等扫描探针显微镜功能。
可选配不同扫描范围的管型扫描器，或平面闭环型扫描器。
可通过选配模块和扩展接口增强系统功能。
激光检测示意图
主要技术参数
一键式快速自动进样，行程23mm，最小步距50nm。
手动调节样品检测位置，调节范围±10.0mm。
样品尺寸的直径20mm，厚度20mm。
标配管型扫描器，扫描范围约为20μm×20μm×5μm。
样品逐行扫描成像，扫描成像速率0.1-30行/秒。
一次扫描多幅图像，图像分辨高达1024×1024物理象素。
内置数模混合结构的锁相放大器，数字化PID反馈控制的响应时间为10μs。
嵌入式测控系统采用主频为450MHz的双核处理器（ARM + DSP），与上位机连接采用以太网TCP/IP通讯协议。
标准配置：
主控制器
主机底座及隔音罩
主机探头及探针架（L型）
手动样品调节台（调节范围±10.0mm）
管型扫描器（扫描范围20μm）
计算机及专用测控软件
仪器附件
L型探针架（上：正面；下：背面）
选配模块：
纳米加工模块，包括：图形化纳米加工、机械刻蚀、矢量扫描等功能
扫描隧道显微镜（STM）模块，包括：扫描隧道显微镜的硬件与软件、STM探针架（WinSPM T-Probe）
辅助观察光学显微镜系统：物镜倍数：0.7X～4.5X；总放大倍数：42-266X连续可调（14"有效显示面积）；工作距离：115mm
管型扫描器模块：扫描范围有8μm、20/30μm和100μm共3种规格
平面闭环扫描器：扫描范围为30μm×30μm×9μm，闭环分辨率约1.5nm，垂直方向的谐振频率约为40kHz
导电原子力显微镜（C-AFM）
静电力显微镜（EFM）
磁力显微镜（MFM）
应用领域及实验
实验一：原子力显微镜的基本原理与应用，典型的应用领域为纳米研究、教学教育。
实验二：原子力显微镜形貌成像及分析，典型实验内容包括：软磁盘或光盘等常规样品形貌成像及分析、光栅样品的形貌成像及关键尺寸测量、纳米台阶的测量分析。
实验三：谱曲线测量与纳米力学实验，典型实验内容包括：力-距离曲线的测量分析、液体膜厚度的测量与分析。
实验四：扫描隧道显微镜（STM），包括形貌成像和隧道谱。（需增配STM模块）
实验五：纳米加工实验，如图形化纳米刻蚀实验。（需增配纳米加工模块）
实验六：其它基于特殊针尖或实验方法的原子力显微镜的应用领域，包括：导电原子力显微镜（C-AFM）、静电力显微镜（EFM）、磁力显微镜（MFM）等。（需增配或定制相应的功能模块）。
仪器整体照片 |
磁盘形貌图(3×3μm) |
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