当前位置：菏泽力芯电子科技有限公司>>辅助机台>>阀门、泵、PFA接头>>风囊泵

风囊泵

返回列表页

参考价: ￥ 5000

订货量: ≥1 台

具体成交价以合同协议为准

产品型号

品牌力芯电子科技

厂商性质生产商

所在地菏泽市

在线询价收藏产品查看联系电话

联系方式：许国庆查看联系方式

更新时间：2024-10-21 10:48:21浏览次数：174次

联系我时，请告知来自智能制造网

产品分类 品牌分类

  半导体湿制程设备

片盒清洗机

炉管清洗机

槽式清洗机

单片清洗机
  CDS系统

系统工程

化学品供液系统

CCB提纯灌装系统
  电化学镀设备

晶圆喷镀

芯片镀镍
  辅助机台

阀门、泵、PFA接头

PFA焊接机

石英存储柜、阀箱、花篮

零部件清洗机

  力芯电子科技

菏泽力芯电子科技有限公司

经营模式：生产厂家

商铺产品：20条

所在地区：山东菏泽市

联系人：许国庆（经理）

询价 给他留言

产品简介

风囊泵是高纯度的再循环和供液的理想解决方案，供液温度高达100°C。 PTFE和PFA泵无金属，换向阀无需锁定和手动复位。可以安全可靠的在两年的保修期内运行。允许工作压力7公斤(100 psi)，可以在100度无需冷却水的热循环中使用。该泵可在四个型号ST015、ST030、ST060 和 ST140流量为15、30、60和140升/每分钟。

详细介绍

菏泽力芯电子科技有限公司设计生产半导体清洗设备、CDS系统、电化学镀设备各种石英存储柜、阀箱、花篮、阀门、泵、接头PFA焊接机等。

半导体清洗设备：包含手动/自动/半自动槽式清洗机、全自动去胶机、自动混酸蚀刻机、单片清洗机等等，可根据客户需求定制产品

风囊泵是高纯度的再循环和供液的理想解决方案，供液温度高达100°C。 PTFE和PFA泵无金属，换向阀无需锁定和手动复位。可以安全可靠的在两年的保修期内运行。允许工作压力7公斤(100 psi)，可以在100度无需冷却水的热循环中使用。该泵可在四个型号ST015、ST030、ST060 和 ST140流量为15、30、60和140升/每分钟。

风囊泵在湿法腐蚀清洗设备中主要有以下应用:

(1)药液恒温控制:由风泵、循环溢流、阀门、过滤器、管件、热交换器，制冷机或加热器等组成温度控制系统，通过泵使药液循环并在热交换器内进行热交换用以实现药液的恒温控制。

(2)药液的循环过滤:由风.泵、循环溢流槽、阀门、过滤器、管件等组成药液的循环过滤系统，实现药液的循环过滤，均匀流场。保证工艺满药液温度和浓度的均匀性，

(3)废液回收和再利用:120℃以上强腐蚀性药液(如SPM)使用后废液如直接从工艺補排至废液管道，由于温度高，将导致排液管道的损坏，引起安全事故，采用工艺糟内自然冷却的方法又耗时过长，影响生产效率。一般采用高温风.泵将栖内药液输送至降温槽，在降温栖内降温后再排入排废管道，这种方法即节首了时间，又保证了生产的安全性，被业界所广泛

关键词：清洗机温度控制系统