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成都四洋科技有限公司
Thermal Control system气体温控器,ThermoTST GC120气体制冷机采用 混合制冷剂自动制冷层叠技术,以提 供 超低温而不需要液氮的成本、风险或不便。
Thermal Control system气体温控器
Thermal Control system气体温控器
电子器件的热测试、半导体工艺工具中晶圆夹头的冷却、真空 室的冷气体充气、流变学、材料的低温特性等。
• 连续冷却 ThermoTST GC120气体制冷机在不 进行预冷的情况下,将干燥气体(如 氮气、氩气或空气)从环境温度冷却 到低温。气体冷冻机是一种闭环制冷 系统,它利用制冷剂对管内换热器进 行气体冷却。气流是不循环的。
温度范围 | ≤ -120℃ |
性能 | ≤-120°C,制冷机输出18SCFM |
预冷时间 | ≤ 20min |
系统操作 | 高清彩色触摸屏,7"TFT |
系统语言 | 中文/英文 |
进/出气接口 | 1/4"Rc Female 3/8"Rc Female |
通讯接口 | RS-232,LAN |
制冷剂 | 环保型冷媒 |
噪音 | ≤65dBA |
供气气源要求 | |
气体 | 各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气 |
气体含油量 | 油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾污染物 |
进气温度 | +5°C至+25°C |
CDA时压力露点 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) |
CDA时进气压力 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s);标准25SCFM(11.8L/S) |
设备工作环境要求 | |
温度 | +10 ºC 至 + 25 ºC |
相对湿度 | 5% 至 85% |
独立安装,体积小巧
可连续运行
已装运,可随时操作
采用单台压缩机,性能可靠
· 集成式气体干燥器,无需 外置
· 风冷或水冷机型可选
· 专有制冷剂,符合环境气 候协议
独立安装,体积小巧
可连续运行
已装运,可随时操作
采用单台压缩机,性能可靠
· 集成式气体干燥器,无需 外置
· 风冷或水冷机型可选
· 专有制冷剂,符合环境气候协议
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