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成都四洋科技有限公司
ThermoTST气体通道温度控制器制冷机,电子器件的热测试、半导体工艺工具中晶圆夹头的冷却、真空 室的冷气体充气、流变学、材料的低温特性等。 • 冷却压缩空气 • –90℃ 至 –125 ℃ (–130 to –193 F,183 to 148 K) • 连续冷却 ThermoTST GC120气体制冷机在不 进行预冷的情况下,将干燥气体(如 氮气、氩气或空气)从环境温度冷却 到低温。气体冷冻
ThermoTST气体通道温度控制器制冷机
ThermoTST GTC80气体制冷机是一个精确的气体加热/制冷温度控制系统,可以迅速将温度从-80℃升温到+200℃,设计用于加热/制冷气体(氮气,氩气等)和清洁干燥空气(CDA)的各种工艺制程的工艺应用。
ThermoTST GTC80气体制冷机使用制冷级联技术,以实现低温和超低温冷却气体冷却工艺,无需使用液氮和干冰的消耗性冷却剂,降低了成本、风险。内置精确的温度控制算法,典型温度转换时间仅需几十秒,提供精准的气流温度控制(温控精度±1℃)。ThermoTST GTC80是非常可靠的制程气体加热/制冷系统,广泛用于航空航天,汽车,国防,半导体、科研和其他行业。
ThermoTST气体通道温度控制器制冷机 特点
结构紧凑,移动式设计
温度转换效率非常迅速
制冷不需要液氮LN2,干冰
气体温控精度±1℃
出口气体流量可自行设定
支持DUT模式温度控制
集成式气体干燥器,无需外置(压缩空气配置选项,小于24SCFM的系统)
单级压缩机,节能环保,性能可靠
风冷或水冷机型可选
专有制冷剂,符合环境气候协议
应用
工艺制程气体恒温供应
电子产品老化测试
车辆IGBT,ECU模块测试
半导体工艺恒温控制
半导体器件表征测试
射频暗室温度控制/射频、晶振测试
冷热台恒温控制
流变学研究
材料的低温表征实验
技术规格
有效温度范围 | -80℃至+225℃ |
温度控制精度 | ±1℃ |
温度分辨率 | ±0.1℃ |
流量范围 | 4 ~18 SCFM(1.9 L/s ~ 8.5L/s) |
供气流量 | 15 ~ 30SCFM(7.2至14.1L/s) |
性能 | ≤-80°C,制冷机输出15SCFM |
控制模式 | 支持DUT控温模式,类型:T、K、PT100等 |
预冷时间 | ≤ 20min |
系统操作 | 高清彩色触摸屏,7"TFT |
系统语言 | 中文/英文 |
进/出气接口 | 1/2"Rc Female 1/2"Rc Female |
通讯接口 | RS-232,LAN |
制冷剂 | 环保型冷媒 |
噪音 | ≤65dBA |
供气气源要求 | |
气体 | 各种干燥气体(如:氮气,氩气,氧气等)或洁净的压缩空气 |
气体含油量 | 油分子:≤ 0.01ppm,过滤至0.1um的油雾污染物 |
进气温度 | +5°C至+25°C |
CDA时压力露点 | < 10℃ @0.62Mpa(90PSI) |
CDA时进气压力 | 8 至 15 SCFM (3.8 至 7.0 L/s) ; 标准 14 SCFM(6.5L/s) |
设备工作环境要求 | |
温度 | +10 ºC 至 + 25 ºC |
相对湿度 | 5% 至 85% |
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