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MKP半导体质量流量控制器

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MKP半导体质量流量控制器

参   考   价: ￥ 8888

订  货  量: ≥1 件

具体成交价以合同协议为准

产品型号MARU3000

品       牌其他品牌

厂商性质代理商

所  在  地成都市

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更新时间：2025-08-08 11:42:58浏览次数：35次

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成都四洋科技有限公司

经营模式：代理商

商铺产品：51条

所在地区：四川成都市

联系人：罗 （经理）

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产品简介

MKP半导体质量流量控制器MARU3000系列是MKP的基本型 MFC. 但是，符合顾客要求及良好的性能，是响应确认度和回答度等重要性能与优秀机型同等水平 在MKP bestseller之一。

详细介绍

MKP半导体质量流量控制器MARU3000系列特点

标准数字 MFC

快速响应时间: ≤1Sec

高精度: ≤1% of S.P

耐腐蚀性: STS316L VIMVAR 光亮退火

支持MGMR功能

通讯:D-NET / EtherCAT / RS485 / Analog V&A

技术规格

型号Maru 3000
流量范围（N2等效）30SCCM~30SLM
响应时间≤1秒（≤SEMI标准）
重复时间
≤±0.15%满量程
阀门关闭时的内部泄漏
≤1% of F.S
零点稳定性＜±0.5%满量程/年
温度系数0.01%满量程/℃
表面润湿材料
STS316L VIM VAR
阀座
METAL / PTFE
密封件类型
METAL
泄漏完整性
≤5X10-12Paㆍm3/S(He)
工作温度范围
5~50˚C (Recommended : 15~35˚C)
预热时间
30min (Accuracy Guaranteed :60min)
入口压力
300 kPa(G)
工作压差
≥50kPa(D)
通讯
D-Net
电源/功耗
+15~24VDC, 7.2W max or ±15VDC 5.6W max
阀门类型
Normally Closed Solenoid



关键词：流量控制器

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商铺：https://www.gkzhan.com/st318106/

主营产品：代理欧美品牌为主，包括真空泵、真空计、膜厚仪、气体分析、流体控制、压力 控制、镀膜靶材等全系列产品线


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