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苏州芯矽电子科技有限公司
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高精度自动供液系统CDS是一款专为半导体、医疗及实验室场景设计的智能化设备，通过高精度泵与流量控制技术实现微升级液体精准分配（误差＜±0.5%），支持与光刻机、蚀刻设备等产线无缝对接，兼容化学腐蚀液、光刻胶等多种介质。系统配备在线过滤、温度补偿及废液分类回收功能，保障供液稳定性与环保性，适用于8-12吋晶圆产线，可连续运行24小时，兼具高可靠性与低维护成本，显著提升工艺良品率与生产效率。
自动供液系统CDS（Chemical Dispensing System）是一款专为半导体制造、医疗检测、实验室分析及新能源等领域设计的智能化液体处理设备。其核心功能是通过高精度泵控、流量调节和自动化控制技术，实现微升级至升级液体的精准分配、回收与循环管理，适用于腐蚀性化学液（如SPM、BHF）、光刻胶、缓冲液、试剂等多场景需求。系统支持与光刻机、蚀刻设备、喷涂机等产线无缝对接，显著提升工艺稳定性、减少人工干预并降低耗材成本。
超高精度供液：
采用高精度蠕动泵、陶瓷活塞泵或超声波雾化技术，流量控制精度可达±0.5%以内，最小分配量低至微升级（如50μL）。
支持多通道独立供液，适配复杂工艺需求（如多层光刻胶喷涂、蚀刻液交替供应）。
智能化控制：
集成PLC、工业PC或MES系统，支持程序化供液参数设置（流量、时间、压力等），实现全自动启停、故障报警与数据追溯。
可选配AI算法优化供液策略，动态调整流量以匹配工艺波动。
多介质兼容性：
可处理强酸（H₂SO₄、HF）、强碱（KOH）、有机溶剂（IPA、光刻胶）、超纯水等，耐腐蚀材料（PFA、PTFE、哈氏合金）覆盖流体路径。
支持高温（90℃）或低温（-20℃）液体供应，适应特殊工艺环境。
环保与安全设计：
废液分类回收率＞95%，配备在线过滤、气体挥发抑制模块，减少危废处理成本。
集成泄漏检测、紧急停机功能，符合SEMI S8、ISO 14644洁净室标准。
供液单元：
高精度泵组（蠕动泵、隔膜泵或气动泵），支持脉冲式或连续供液模式。
流量校准模块：通过质量流量计或压力传感器实时监测流量，闭环反馈调节。
流体管理模块：
多级过滤系统（0.1μm~1μm），去除颗粒污染物；
温度控制单元（PID加热/冷却），维持液体粘度稳定；
气泡消除设计，避免供液中断或精度偏差。
回收与循环单元：
废液自动分类收集（按化学性质分区存储），支持蒸馏回收或中和处理；
溶剂循环系统（如IPA回收率＞90%），降低耗材消耗。
人机交互界面：
10英寸触控屏或远程HMI，实时显示流量、压力、液位等参数；
支持配方存储与调用，兼容SCADA系统集成。
安全防护系统：
防腐蚀壳体、双重泄漏保护、紧急冲洗站；
气体吸附模块（针对挥发性液体），保障操作人员安全。
半导体制造：
光刻胶喷涂、显影液供应、蚀刻液循环管理（如BOE、H₃PO₄）；
EUV光罩清洗、CMP抛光液分配。
医疗与生物制药：
试剂精准分装、细胞培养液自动灌注、PCR样本处理。
实验室分析：
色谱仪流动相供液、电镜样品前处理液体分配。
新能源领域：
锂电池电解液注液、光伏湿法工艺药液供应。
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