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INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的的Pirani技术.温度补偿提供快速与Z稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中
INFICON的 Pirani 标准真空计 PSG500 和 PSG502-S 代表封装在坚固耐用小型管壳内的的Pirani技术.温度补偿提供快速与zui稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题. 坚固耐用的不锈钢传感单元更适用于半导体系统, 以及常规用途如前级真空管道中.
特点：
占空间小
任何方位安装
不锈钢测量单元的金属密封馈入件
*化的温度补偿
易于集成的对数讯号输出
至10巴压力的高过压能力，用螺纹连接件
烘烤型在法兰处可达到250 °C
易于更换的传感单元
应用：
控制高真空电离真空计
前级真空压强监测
真空系统中的安全电路
在中真空和粗真空范围内的一般真空测量与控制
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