EdWARDS罗茨泵 EH1200-EdWARDS罗茨泵 EH1200-上海万库真空设备有限公司

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产品型号EdWARDS罗茨泵 EH1200

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厂商性质其他

所在地上海市

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更新时间：2022-04-17 18:02:31浏览次数：443次

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EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度可靠。

应用

半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO₂ 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
- 安静的无振动运行。
- 牢靠且防腐蚀。
- *的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到zui低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要zui高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。

技术数据

型号	EH250	EH500	EH1200	EH2600	EH4200
排量（工作容积）	310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1	505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1	1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1	2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1	4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1
使用前级泵时的有效抽速	240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1	350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1	840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1	1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1	3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1
泵的压力差	0-180 mbar/0-140 Torr	0-110 mbar/0-83 Torr	0-90 mbar/0-68 Torr	0-80 mbar/0-60 Torr	0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接	ISO63	ISO100	ISO160	ISO160	ISO250
出口连接	ISO40	ISO63	ISO100	ISO100	ISO100
转速	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm	0-2900 rpm
连续进气口工作压力	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr	0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口压力	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr	1000 mbar/760 Torr
*的前级泵	GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80	GV80，E2M80	GV160、GV250、 E2M80、E2M175	GV250、GV400、 E2M175、E2M275	GV400、E2M275
电机功率
碳氢化合物	2.2 kW / 3 hp	2.2 kW/3 hp	3 kW/4 hp	11 kW/15 hp	11 kW/15 hp
PFPE	1.5 kW / 2 hp	1.5 kW/2 hp	3 kW/4 hp	7.5 kW/10 hp	11 kW/15 hp
ATEX	2.2 kW	2.2 kW	3 kW	11 kW	11 kW
防爆	3 hp	3 hp	4 hp	15 hp	15 hp
环境温度范围
工作	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F	5 至 40°C/40 至 104°F
存储	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F	-10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作湿度	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH	90% RH
*用油	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20	Ultragrade 20
油容量
齿轮箱			1.25 l/1.3 qt	3.5 l/3.3 qt	3.5 l/3.3 qt
联轴器盖	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	1.5 l/1.6 qt	6.5 l/7 qt	6.5 l/7 qt
轴封储油器	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	0.125 l/0.25 qt	1.5 l/1.4 qt	1.5 l/1.4 qt
重量	61 kg/134 lb	74 kg/163 lb	74 kg/163 lb	308 kg/679 lb	400 kg / 882 lb