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曝光灯,SUSS光刻机用,德国欧司朗

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更新时间:2022-02-20 18:05:33浏览次数:1407次

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曝光灯,SUSS光刻机用,德国欧司朗
SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。

曝光灯,SUSS光刻机用,德国欧司朗

SUSS MicroTecv美国苏斯公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机,目前得到业界的广泛认同,该系列光刻机曝光系统的曝光灯,主要是由德国欧司朗公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗曝光灯系列,具备良好的光通量,稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目前供苏斯光刻机配套的相关参数如下:

曝光灯,SUSS光刻机用,德国欧司朗

HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography

 

Lamps for SÜSS  Equipment

Lamp type

Max life[h]

Equipment(适用机型)

HBO 200W/DC

1000

MJB3

HBO 350W/S

600

MA4,MA6,MA8,MA150,MJB3,MJB21,UV300/500

HBO 1000W/D

1000

MA150,MA200,MA4,MA6,MA8

HBO 5000W/S

1000

MA300

 

 

以下是欧司朗曝光灯的技术参数:曝光灯,SUSS光刻机用,德国欧司朗

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