横河电机是在日本国内拥有28家关联公司，在*27个国家中拥有61家公司的跨国性集团公司。横河电机将测量、控制、信息作为自己的技术领域，通过为产业的发展和社会的进步做出贡献，持续发展至今。 此次与天津罗升强强联手，立志给客户提供*质的服务，来函。
1．MicroStage是横河公司推出的*的整合了直线电机、横河直接驱动电机的三轴运动平台。DYNASERV在市场取得好成绩的销售已经有10年了，伴随着DYNASERV系列直接驱动伺服的发展，LINEARSERV系列直线电机也取得了良好的发展与壮大。
MicroStage是一种结合了两台LINEARSERV系列直线电机以及DYNASERV系列直接驱动伺服的高速、高精度的运动控制平台。
MicroStage运动平台可以应用与各个工业的各个机械设备，特别是应用在半导体制造以及探伤检测设备上，这种高精度的运动控制平台已经被非常多的用户认可。
正交度：25um
平行度：＋-20um（全行程）
重复定位精度：＋－0.1um（全行程）
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