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ZR22G ZR202G ZR402G ZR22S、ZR202S横河电机Yokogawa氧化锆氧气分析仪ZR22 ZR202 ZR402
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上海晖盈实业有限公司
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产品简介
用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制，用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量，测量氧气浓度，防止粉尘运输中粉尘爆炸
产品介绍
特点：
使用寿命长，响应速度快：
由于使用了横河电机的新型薄膜沉积技术，传感器的寿命周期提高了三倍
圆柱形传感器设计便于置换被测气体，确保高速响应
高性能和高可靠性：
即使在低氧浓度下，仍具有*的精度和线性
在不同应用中，可选择泵式或抽提采样方式
内置功能和多种自诊断功能：
自带多选择器，自动量程，特定量程以及泵开/关功能
提供多种自诊断功能，以检测故障，如加热器温度错误，温度传感器断偶和传感器电阻值错误
出众的维护性：
可现场更换传感器
小型轻量，易于安装
主要技术参数：
| 测量对象 | 惰性气体中的氧气浓度 | ||||
| 测量系统 | 氧化锆系统 | ||||
| 采样方法 | 泵式、抽提式等 | ||||
| 样气条件 | 流速：200±25ml/min（仅适用于传感器） | ||||
| 测量量程 | 0～10ppm O2至0～100vol% O2 | ||||
| 输出量程 | 自动： | 0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，0～*（默认） | |||
| 固定： | 设为0～10ppm，0～100ppm，0～1000ppm，0～1%，0～10%，或0～* | ||||
| 部分： | 可设置下限值或上限值 | ||||
| 模拟输出 | 2路输出，第一路：4～20mA DC（zui大负载电阻550Ω），第二路：可选为0～1，0～5，0～10V DC（负载电阻：10kΩ或更大） | ||||
| 接点输出 | 报警输出2点： | 错误接点，O2浓度报警接点 | |||
| 量程范围输出1点： | 接点输出 | ||||
| 多选择器（选配件）： | 流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 | ||||
| 接点输入 | 1点：采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||
| 自诊断 | 故障： | 传感器错误，加热器温度错误，温度传感器断开，设备温度错误，CPU错误，FAN停止 | |||
| 报警： | 加热器不稳定，传感器错误，电动势异常，非对称电压错误错误，标定错误，传感器电阻错误，O2浓度上/下限，超限 | ||||
| 串口通信 | RS-232，38400 bps | ||||
| 标定方法 | （1）3点：10ppm，1000ppm，空气，（2）2点：可设定为零点气和量程气标定，（3）1点，（4）空气标定 | ||||
| 暖机时间 | 20分以内 | ||||
| 电源 | 100～120V AC/220～240V AC，50/60Hz | ||||
| 功耗 | 100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大 | ||||
| 尺寸 | 213 （W） x 132 （H） x 约375 （D） mm | ||||
| 质量 | 约5kg | ||||
| 管线连接 | 气体入口：Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||
| 环境条件 | 安装条件： | 室内，盘装或壁装，非易燃区域 | |||
| 环境温度： | 0～40℃，无结露 | ||||
| 环境湿度： | 5～85%RH | ||||
| 储存温度： | -5～50℃ | ||||
| ±1%F.S.（10，100，1000 ppm，1%，10%或*） | |||||
| 线性 | ±2%F.S. | ||||
| 响应时间 | 90%响应 | ||||
| 漂移 | ±2%F.S./周 | ||||
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