典型应用包括:
半导体工业的测量和生产设备
电路板组装机
精密机床
高精度机床
测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备
直接驱动
•产品系应用
LIC敞开式直线光栅尺用于测量高速运动的行程达27m内的位置。其尺寸和安装方式与LIDA400相同.
LIP敞开式直线光栅尺的测量步距非常小、精度和重复精度非常高。扫描方式为干涉扫描,测量基准为DIADUR相位光栅。
LIF敞开式直线光栅尺的测量基准是SUPRADUR玻璃基体光栅,扫描方式为干涉扫描。特点是精度和重复精度高,安装简单,有限位开关和回零轨。特殊型号的LIF481V可用于10–7bar的真空环境中(参见其单独“产品信息”)。
LIDA敞开式直线光栅尺特别适用于运动速度达10m/s的高速运动应用,支持多种安装方式,安装简单。根据相应应用要求,METALLUR光栅的基体可为钢带,玻璃或玻璃陶瓷。也可有限位开关。
•PP双坐标编码器的测量基准是一个平面DIADUR相位光栅,扫描方式为干涉扫面。用于测量平面中位置。
机械结构
敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅尺和读数头,光栅尺和读数头间无机械接触。敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安装面上。安装面的平面度直接影响直线光栅尺精度。
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