MEMS流量传感器技术
我司拥有自主知识产权的MEMS质量流量传感器,能根据用户的需求提供的在线流量计量。传感器系采用进口MEMS微机电芯片*的CMOS兼容MEMS工艺制造,保证其具有*的可靠性。传感器可测量低至0.01m/sec及高达65m/sec。针对不同的应用,传感器可用于测量气体的质量流量、体积流量及介质流速。专门设计的电路具有放大及微小信号处理功能以保证高精度输出。
不同于其它MEMS传感技术,纹徕公司在单个传感芯片上集成多个传感器。芯片表面采用具有高导热性能的陶瓷材料钝化处理,在保证传感器的灵敏度的同时避免传感器与气体介质直接接触以提高其可靠性。当没有气体介质流过MEMS传感器芯片时,传感器周围保持稳定的温度场(温度分布)。当气体介质流过传感器芯片时,温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重分布。这种局部温度场变化取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量,通过校准,专门设计的信号处理电路和智能控制软件可测量实际的介质质量流速。介质质量流速则可换算成体积流速及累计介质体积流量。
广州纹徕仪器仪表有限公司的流量传感器可采用多种形式的封装,从而增加了其应用的广泛性。
上一篇:浅谈光伏电池的新应用
下一篇:PS4600系列高性能计算机发布
- 凡本网注明"来源:智能制造网"的所有作品,版权均属于智能制造网,转载请必须注明智能制造网,https://www.gkzhan.com。违反者本网将追究相关法律责任。
- 企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
- 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
- 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。