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四探针电阻测试仪可以选择那些探头?

2021年04月19日 13:40来源:北京北广精仪仪器设备有限公司 >>进入该公司展台人气:476


探头选配:根据不同材料特性需要,探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头,以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻;也有球形镀金铜合金探针探头,可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜(ITO 膜)或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具,还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配探头, 也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。

BEST-300C 型材料电导率测试仪是运用四探针测量原理测试试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

主机主要由数控恒流源,高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成。自动/手动量程可选;电阻率、方阻、电阻测试类别快捷切换:仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入,简便可靠;具有零位、满度自校功能;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电锂电池供电,适合手持式变动场合操作使用!

数字电压表:

⑴量程: 20.00mV

⑵误差:±0.2%FSB±2LSB

⑶*分辨力:1.0µV

显示: 4 位数字显示,小数点自动显示

数控恒流源

⑴电流输出:直流电流 0.1µA~1.0A,系统自动调整。

⑵误差:±0.2%FSB±2LSB

四探针测试探头:

有选配的型号确定,详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方

法》

电源:

功 耗:< 15W,输入:220V±10% 50Hz±2%

本仪器工作条件为: 温 度: 0-40℃ 相对湿度: ≥60%

工作室内应无强电磁场干扰,不与高频设备共用电源。

 外形尺寸:主机 245mm(长)×220 mm(宽)×95mm(高)

BEST-300C 测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻(薄片电阻率)R 口

以及体电阻 R,测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻 R 口以及体电阻 R 测试的基本修正系数设定, 还提供了产品厚度 G、外形和测试位置的修正系数 D 设定,极大的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式,方便了用户同时测试多个参数,提高测试效率。

对于电阻器类样品,用四端子测试线按照图 5-1 连接好样品,对于半导体材料,测试前表面应进行必要的处理。如图 5-2,对于硅材料要进行喷砂或清洁处理,对于薄膜类的要保持表面清洁,必要的要进行清洁。样品放在平整的台面上。将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来,连接好探头和主机。将电源开关置于开启位置,数字显示亮。仪器预热 15 分钟以上,增加读数稳定性。

在设定模式下(设定完毕,保存好数据后),选择测量类别(电阻率ρ、方块电阻

(薄片电阻率)R 口或体电阻 R 中三选一,切换仪器到“测量”模式,窗口左侧“测量” 模式灯亮。电阻测量,注意良好接触,电压测试端在内侧;半导体参数测试,将探针与样品良好接触,注意压力要适中;由数字显示窗直接读出测量值。

注意!测量状态中,电流量程默认为自动方式,也可调整为手动方式,手动方式下, 电流量程适合的,仪器会稳定显示数据,电流量程不适合的会给出超量程或欠量程闪烁提示,对于超量程,说明电流过大,要调到较小电流档;对于欠量程,说明电流过小, 要调到较大电流档。

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