您现在的位置:智能制造网>技术首页>技术交流

气体质量流量控制器的结构和工作原理

2022年05月23日 08:30来源:无锡爱拓利电子科技有限公司 >>进入该公司展台人气:121


  气体流量控制器">气体质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工,冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
 
  1、结构
 
  MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成,只能对气体质量流量进行测量;在MFM基础上加上调节阀构成MFC,既可以对气体质量流量进行测量,也能对流量进行控制。
 
  2、工作原理
 
  气流进入进气管道街头后大部分流量流过分流器通道,其中很小一部分进入传感器内部的毛细钢管。由于分流器通道的特殊结构,可以实现这两部分气体流量成正比例关系。传感器经过预热加温,里面的温度高于进入的气流温度,此时通过毛细钢管传热和温差量热法原理测量这一小部分气体的质量流量。用这种办法测出的气体流量可以忽略温度和压力的影响,将传感器测得的流量检测信号输入电路板,经过放大后输出,就完成了MFM的功能。将电路板中加入PID闭环自动控制功能,把传感器测得的流量检测信号与用户给出的设定信号进行比较,以此为基础控制调节阀,使得流量检测信号与设定信号相等,这样便实现了MFC的功能。
 
  本文关键词:气体流量控制器">气体流量控制器,气体质量流量控制器,流量控制器
 
流量控制器
  • 凡本网注明"来源:智能制造网"的所有作品,版权均属于智能制造网,转载请必须注明智能制造网,https://www.gkzhan.com。违反者本网将追究相关法律责任。
  • 企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
  • 本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。
  • 如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

广告位招租 广告位招租

编辑精选

更多


宣传样本推荐图书

旗下子站

智能控制机器人3D打印物联网云计算智能装备



关于我们|本站服务|会员服务|企业建站|旗下网站|友情链接| 兴旺通| 产品分类浏览|产品sitemap

智能制造网 - 工业4.0时代智能制造领域“互联网+”服务平台

Copyright gkzhan.comAll Rights Reserved法律顾问:浙江天册律师事务所 贾熙明律师

客服热线:0571-87756395加盟热线:0571-87759904媒体合作:0571-89719789

客服部:编辑部:展会合作:市场部:

关闭