HNPM高性能泵在晶圆键合涂层设备的应用案

德国HNP Mikrosysteme(下文简称为“HNPM”)公司专注研发，制造和销售微型齿轮微量泵。该泵能快速、精准输送填充微量液体，并成熟应用与生命科学和分析仪器领域、机械和微型工程、化学和制药工艺工程等领域。HNPM公司还提供开发配料系统的客户定制服务。

HNPM微环形齿轮泵主要产品：

HNPM高性能泵、HNPM低压泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模块泵、HNPM磁性密封齿轮泵5大系列。

HNPM高性能泵mzr-7205在晶圆键合涂层设备的应用案例：

SUSS MicroTec集团ACS200 GEN3自动涂布机既包含大量的创新设计，又结合了Gamma和ACS200Plus平台的最佳优点。最多能够配备4个涂胶显影模块和19个冷热板，非常适合大规模生产。该平台具有的模块配置灵活性，其技术不仅可以满足先进封装、MEMS和LED等应用要求，同时也适合研发和大规模生产的需求。在这个平台上使用HNPM高性能泵mzr-7205，实现了高精度、低脉动、低体积剂量，介质是丙酮与光刻胶。

SUSS选用HNPM高性能泵mzr-7205的要求：

☛低脉动、可重复的体积流量。

☛体积流量与线速度的动态适应性。

☛紧凑型计量泵

☛集成微控制器

☛控制系统的简单集成

HNPM高性能泵mzr-7205特点:

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范围为0.048-288 ml/min，HNPM高性能泵mzr-7205的主要特点高精度、低脉动、低体积剂量（即使是非润滑液体）或高压、紧凑设计和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允许在较宽的粘度范围内给药，并显示出较小的经济尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工业生产和工艺技术应用为主。HNPM高性能泵mzr-7205设计用于连续输送和离散剂量的水、水溶液、溶剂、甲醇、油、润滑剂、粘合剂、油墨和油漆以及其他高粘度液体。

HNPM高性能泵其他型号：

mzr-2505、mzr-2905、mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508等