三轴力传感器生产工艺流程

       三维力传感器也称为三轴力传感器、三分力传感器，三分力天平，可以同时测量笛卡尔坐标系中三个垂直轴向上的力。三维力传感器基于应变式测力传感器的基础上采用电阻应变式原理，也称应变式三维力传感器。有弹性元件、电阻应变计和惠斯通电桥电路组成。被称物体的重量作用在弹性元件上使其变形而产生应变量，粘贴在弹性元件上的电阻应变计将于物体重量成正比的应变量转化为电阻变化，再通过惠斯通电桥电路将电阻变化转化为电压输出，通过显示仪表将测得此电压输出值即可完成测量计量任务。其生产工艺流程是一项综合的系统工程技术，其具有密度化、高速化、标准化等特点，在电路组装技术领域要求更高。                                                                  

弹性机体加工：弹性体是传感器内部的重要组成元件，合适的选材，40CrNiMoA提高了计量性能与使用寿命，采用高精度数控设备进行弹性体加工，高性能数控加工中心是生产弹性体的重要设备，为保证传感器的精度和产品的一致性及优良产品的产品质量起到了重要的作用。

热处理：弹性体经热处理后具有优良的机械性能，即较高的强度，冲击韧性，较高的疲劳强度极限。

表面处理：是指在该工件的表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，过程中的基板表面的不同的机械，物理和化学性能的形成，工件能满足耐腐蚀性，耐磨损性和装饰性的功能要求。激光焊接及探伤设备是保证不锈钢密封传感器产品质量的重要设备，保证产品批量生产的同事，保证了产品的质量。

贴片：激光自主研制的传感器自动贴芯线，实现产品自动上料，自动点胶，自动剥离芯片，自动粘芯片和自动上陶瓷绝缘块功能。保证了点胶效果的稳定性和一致性。

补偿：三轴补偿由双周补偿器和视准轴与横轴误差补偿程序组成，来完成误差补偿。

标定校准：对主要技术指标进行校准试验以便确保传感器的各项性能达到使用要求。传感器的标定，就是通过实验确立传感器的输出量和输入量之间的对应关系，同时也确定不同使用条件下的误差关系。

焊接封装：传统封装焊接以氩弧焊焊接，氩弧焊焊接热量大，容易对传感器内部芯片性能造成不良影响，所以被自动化激光焊接替代。自动化激光焊接实现压环自动上料，膜片自动上料，基座自动上料，产品自动焊接，成品自动下料堆垛等功能。焊接位置精确调整，采集生产数据，无遗漏生产。