inficon检漏仪的性能以及注意事项

2024年07月31日 11:44:51人气：1079来源：赫尔纳贸易（大连）有限公司

　　inficon检漏仪是基于质谱法原理，以氦气作为检漏仪器。质谱仪由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离计、气体萃取系统和电气部分组成。质谱法室中灯丝发射的电子在室内来回振荡，与室内气体碰撞，氦气泄漏进入室内，电离成正离子，正离子在加速电场的作用下进入人体磁场，当洛伦兹力效应偏转时，电弧形成，加速电压的变化使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收极而被探测到。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。

　　inficon检漏仪的主要性能指标：

　　1.较小检漏率：即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。

　　2.响应清除时间：当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。

　　3.启动时间：氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间。

　　inficon检漏仪使用前注意事项：

　　每次使用之前能在气相分流口或其它氢气或氦气气源对检漏仪进行测试验证。或者，肉眼检视一下探针头、参考气体入口和排气口是否有堵塞。

　　重要提示：一定要使用洁净、干燥的气体对检漏仪进行测试操作。检漏液、灰尘和其它的杂质进入探头都可能会损坏检漏仪。

　　检漏仪对任何可闻或不可闻的气体都有反应，而且灵敏度高，因此在使用过程中要注意溶剂蒸汽、分流口气体甚至是强空气流对测试结果的影响。请注意操作时不要对着参考气入口处呼吸或者手指不要覆盖/堵塞参考气入口。

关键词：质谱仪分析仪电阻炉氦质谱检漏仪探测器

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