OKAMOTO冈本GNX200BP晶圆研磨机

OKAMOTO冈本GNX200BP晶圆研磨机

——又称晶圆减薄/晶圆抛光机（Wafer Grinding）

OKAMOTO冈本GNX200BP晶圆研磨机概要：

GNX200BP晶圆研磨机是一款全自动的连续向下进给研磨机。晶圆由机械手通过机器进行处理，并装载/卸载臂。在终研磨站之后，使用两个不同的站进行晶片清洁。卡盘转速，砂轮转速和砂轮主轴下降速度可以用来控制砂轮的产量，表面光洁度和砂轮寿命。两点制程量规测量系统控制磨削主轴1和2下的晶片厚度。三点磨削主轴角度调节机构用于轻松保持晶片轮廓（ttv）；可选配电动调节装置。在研磨站完成后，晶片将自动转移到抛光单元。局部抛光单元消除了表面下的损坏，从而提高了晶片的芯片强度，并具有处理50微米终厚度的能力。

OKAMOTO冈本GNX200BP晶圆研磨机特点：

1.研削加工技术：日本机械学会授予冈本标准传送方式及向下研磨方法技术奖。

2.机械精度的调整方法：通过主轴进行调整，因为可进行原点定位，所以精度调整相当容易；可2处调节。

3.标准驱动方式：齿轴+定位销进行定位，长年使用也不会发生位移。

4.标准润滑方式：润滑油及防护罩，防止进入异物造成磨损。

5.设备刚性：高刚性，不会因老化造成精度变化，部件由冈本自产铸金一体化生产。

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