TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节,自动测量薄膜厚度和折射率,精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB2.0接口与电脑连接,软件具有生成表、查表以及精确计算等功能,方便用户使用。
规格参数
测量范围 | 薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10 |
测量厚度最小示值(nm) | ≤1 |
偏振器方位角范围 | 0°- 180°读取分辨率为0.05° |
偏振器步进角 | 0.014°/步 |
测量膜厚(nm) | ±1 |
折射率重复性精度 | ±0.01 |
入射角调节范围 | 20°~90°精度为0.05° |
入射光波长(nm) | 632.8 |
光学中心高(mm) | 80 |
允许样品尺寸(mm) | φ10-φ140,厚度≤15 |
外形尺寸(mm) | 590*390*290 |
主机重量(kg) | 25 |
配置表
基本配置 | TPY-1 | 椭圆偏振测厚仪主机 | 1台 |
TPY-1 | 主机电控箱 | 1套 | |
二氧化硅膜样片 | 1片 | ||
TPY-1 | 椭圆偏振测厚仪专用软件 | 1套 | |
需另配 | 计算机及打印机 | 1套 |